質(zhì)量流量控制器即Mass Flow Controller (MFC)，不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，還可自動(dòng)控制氣體流量，用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。氣體質(zhì)量流量單位一般以 SCCM ( Standard Cubic Centimeter per Minute)和SLM (Standard Liter per Minute)來表示，亦即每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升、每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。

       熱式質(zhì)量流量計(jì)直接測(cè)量流體質(zhì)量流量，輸出質(zhì)量流量信號(hào)，無需其他設(shè)備，如溫度測(cè)試儀和壓力表，也無需進(jìn)行換算。其本身無類似轉(zhuǎn)軸等的移動(dòng)部件，增加了本身的可靠性，無需機(jī)械維護(hù)。可以測(cè)量微小流量，采用分流裝置，又可以測(cè)量大流量，而且溫度，壓力范圍大。質(zhì)量流量控制器可以將流量測(cè)量值以輸出標(biāo)準(zhǔn)電信號(hào)輸出，還可以實(shí)現(xiàn)流量的自動(dòng)控制。
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